负电容 (NC) 主要用于降低电子设备的功耗并实现超低功耗纳米电子学。通过利用铁电材料的独特性能,NC 可用于克服传统晶体管的局限性,并有可能带来更节能的电子设备,从传感器到高频、高功率氮化镓 (GaN) HEMT。
正常电容是存储与施加电压成比例的电荷的能力。当电荷的变化发生在与施加电压变化相反的方向时,这就是 NC。
NC 主要存在于某些铁电材料中,有时称为铁电负电容。这些铁电体在其转变温度以下表现出双自由能特性(图1a)。当绘制材料中的极化 (P) 与电场 (E) 时,这会导致“S”形曲线(图 1b)。

图 1.(b) 中的“S”形曲线表示 NC 区域,阴影为绿色。(图片来源:纳米电子材料实验室)
可以表现出 NC 特性的铁电材料示例包括:
氧化铪锆 (HfO2-ZrO2) 已用作计算机芯片中的高 K 电介质,已显示出在数控应用中的前景。
锆酸铅 (PbZrO3) 具有反铁电特性,并在非极性到极性相变期间表现出 NC。
二氧化铪 (HfO2) 或哈骪是一种高 K 介电材料,有时用于代替 MOSFET 中的二氧化硅 (SiO2)。当结合使用时,哈夫尼亚和 SiO2 可以产生 NC 效果。
钛酸铅 (PbTiO3),尤其是纳米级层,正在开发用于数控应用。
将铁电层与介电层(如 SiO2)结合,可以创建具有 NC 的结构。这些异质结构正在被研究为克服玻尔兹曼极限的可能工具。
玻尔兹曼极限是指理论上可实现的最小亚阈值摆幅(SS),这是衡量FET开关效率的关键指标。等效氧化物厚度 (EOT) 缩放是一种旨在减少栅极电介质有效厚度的工具,从而增加电容并提高器件的性能。
EOT 缩放会遇到非常薄的介电层的极限。使用高 K 金属栅极 (HKMG) 是支持 IC 中 FET 持续扩展的常用方法。然而,HKMG 解决方案的使用正达到极限。
如上所述,铪是一种高 K 介电材料,可用于代替 FET 中的 SiO2。当结合使用时,铪和 SiO2 可以产生 NC 效应,并且是正在探索的材料之一,作为突破玻尔兹曼极限的可能解决方案。
当 NC 集成到 FET 的栅极堆栈中时,它可以有效地放大晶体管内的内电位,从而允许施加的栅极电压变化更小,以实现通道电位的相同变化,从而导致更陡峭的亚阈值摆幅并超过玻尔兹曼极限(图 2)。

图 2.将NC集成到FET的栅极堆栈中可能会提供一条克服玻尔兹曼极限的途径。(图片来源:APL Materials)