中国陕西8英寸硅光子学平台正式上线

11月4日，陕西光电子先锋科技有限公司总经理杨俊宏宣布，“8英寸先进” 硅光子集成技术创新平台已正式上线。该平台将为光电和硅光子芯片推广到光子工业中的众多创新实体。

该项目总投资7.5亿元人民币，于2023年底开始施工。它推出了130nm硅比利时IMEC的光子工艺设计套件（PDK）配备了60多种关键工具和系统，包括光刻和蚀刻设备。基于130纳米主动集成硅该厂正在开发90纳米以上的先进工艺，建立国产控制的先进制造生态系统。

硅光子芯片——通过硅基微纳米制造制造的光电子器件——支持光学调制和光电转换。它们的主要优势在于利用成熟的硅实现高集成度和低成本的工艺，同时提供高速、低损耗和抗干扰的光信号性能。这些芯片在人工智能、自动驾驶和医疗保健等领域中应用越来越多。

与标准的批量生产代工厂不同，试点线专注于小批量试产和全流程验证，以解决工艺不稳定性和成本不确定性等问题。它们作为实验室研究与可扩展生产之间的桥梁，提升工业化成功率。类似硅光子试点线已在武汉、北京、上海和重庆等城市运营。

陕西省现已建立三大产业集群：光子材料与芯片、先进激光与光子制造以及光子传感——拥有379家光子领域硬技术企业，工业总产值超过350亿元人民币。

杨亮亮透露，光电先锋研究所正在构建一个结合“化合物半导体+”的综合平台硅光子+异构集成，为包括光通信、生物感测和人工智能在内的新兴领域提供关键技术支持。

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